近日，微電子所健康電子中心黃成軍研究員和毛海央研究員團(tuán)隊在納米森林柔性濕度傳感器方向取得新進(jìn)展。

現(xiàn)有濕度傳感器在低濕條件下存在靈敏度低的問題，難以滿足高精度檢測要求。團(tuán)隊開發(fā)了一種基于碳量子點@納米森林復(fù)合結(jié)構(gòu)的新型濕敏材料，利用納米森林的高孔隙率和超親水特點，及其與柔性基底可兼容制備和晶圓級制備特點，成功研發(fā)出一種新型的高性能柔性濕度傳感器和傳感器陣列。同基于PI濕敏材料或基于納米森林濕敏材料的柔性濕度傳感器相比，該新型傳感器顯著提升了濕度檢測靈敏度，尤其在低濕條件下，其靈敏度提高了4.3倍。

團(tuán)隊還探索了該新型柔性濕度傳感器和傳感器陣列在高精度環(huán)境濕度監(jiān)測、皮膚濕度檢測、指尖接近探測、植物葉片蒸騰作用檢測等多種場景下的應(yīng)用，展現(xiàn)了其廣闊的應(yīng)用潛力，為智能可穿戴設(shè)備和環(huán)境監(jiān)測等技術(shù)領(lǐng)域的發(fā)展提供了一種新的技術(shù)方案。

來源：傳感器專家網(wǎng)